粒子計數(shù)器法使用的測量儀器是粒子計數(shù)器。
粒子計數(shù)器的工作原理是講來自光源的光線被透鏡組聚焦于測量腔內(nèi)。當(dāng)空氣中的每一個粒子快速的通過測量腔時，便把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經(jīng)過透鏡組被送到光檢測器。正比轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，再經(jīng)過儀器電子線路的放大、甄別、揀出需要的信號，通過計數(shù)系統(tǒng)顯示出來，得知空氣中微粒的粒徑和個數(shù)。檢漏使用的成員是癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS。
粒子計數(shù)器結(jié)果顯示的是：粒徑的粒子數(shù)，單位為顆/28.3L。
氣溶膠光度計法及原理
氣溶膠光度計法使用的測量儀器是氣溶膠光度計。氣溶膠光度計是一種前散射線性光度計。
原理是通過真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號，此信號經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強(qiáng)度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號對比，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴（PAO）。
光度計測量結(jié)果顯示的是ug/L（毫克/升）。
對比試驗分析：
本次試驗依據(jù)為ISO14644-3-B.6.2使用氣溶膠光度計對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法和ISO14644-3-B.6.3使用粒子計數(shù)器對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法。試驗對象為規(guī)格1190*650的層流罩，高效過濾器采用反液槽密封無隔板高效過濾器，尺寸規(guī)格484*484*70，四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。
試驗結(jié)論
1、用PAO測試時，光度計的上游濃度為2ug/L，相當(dāng)于粒子計數(shù)器為1200萬顆/28.3L，計數(shù)法能在下游檢測出漏點，而用光度計無法檢測出漏點，用DEHS測試時，被測結(jié)果與上述數(shù)據(jù)一致，說明計數(shù)法更靈敏。
2、在同樣的漏點被檢測出時，光度計法所需要上游濃度要比粒子計數(shù)法大100倍左右，這就造成了對過濾器和環(huán)境的污染。濃度越大，噴霧時間長的花，會有微小油滴聚集。
3、用計數(shù)器法對過濾器檢漏，上游所需發(fā)塵濃度低，下游探測靈敏度高，相對光度計法污染低。
4、用計數(shù)器法克直接現(xiàn)場打印數(shù)據(jù)，得到粒子粒徑數(shù)，便于追查漏點原因，而光度計法則無現(xiàn)場打印功能，無粒徑概念，對超高效不合適。
本次試驗對比旨在對上述兩種測試方法之間的技術(shù)與經(jīng)驗進(jìn)行相關(guān)交流與學(xué)習(xí)，同時也對提高目前風(fēng)口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。
