如果旋片真空泵中泵油清潔，長期存放未用，可開氣鎮閥凈化泵內水汽。若無效，要檢杏儀表。若泵油發黃發白已乳化，可全開氣鎮，調大氣鎮量凈化運轉，必要時可在泵口放入適量氣體運轉，可加快凈化過程。若抽入其他揮發性氣體或液體，要及時換油，必要時請洗油箱。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設法把沉積泵液排出。

　　限壓力是用座式壓縮式水銀真空計測量的。

　　用經校準的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規管要配對校準。建議備用一只同時校準的規管，以備懷疑規管污染失真時進行對比。

　　限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使限全壓力升高。可以參照上述介紹來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和限全壓力升高的故障。

　　（7）噪聲。泵的結構設計，電機與泵軸承的噪聲，旋片等運動件是否滑暢、進油量太多、風扇、傳動件產生的噪聲、進氣量大，開氣鎮運轉、擋油板等泵內零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響泵的噪聲。

　　（8）噴油。防止噴油用的油盒回油孔的大小、位置、密封狀況,擋油板的設計、安裝,排氣口部分的減霧器、擋油帽、氣分離器，油位的高低，進油量的大小，都會影響泵的噴油，泵門敞開抽大氣時，直聯泵排氣口的氣流速度可以高達30m/s，吹開油面時，泵內的循環油和氣流帶出的油就將考驗防止噴油的各項措施。

　　7、其他。有些泵有油泵，有油分離器，有油路上的單向閥，有消霧器，有入口過濾器(防油蒸汽返流用)，有入口灰塵過濾器等部件或附件，也要進行檢查。油泵失效將使泵的潤滑和密封失效，消霧器失效，有可能使排氣壓力升高，功率加大，損壞電機，入口過濾器失效可使進氣阻力增大，抽速下降，抽氣效率下降。

　　8、清洗。不宜浸洗，以免洗液進入拼接轉了內部，不易排出。

　　9、拆裝。要按照使用說叫書和規定有序進行，記好位置，合理擺放，以免錯裝。